流化床气相沉积反应器FB-CVD
流化床反应器(FB-CVD)属于公司拳头产品之一，反应器内的粉体材料在载气的带动下形成流化态,再进行包覆、烧结等工艺。以流化床为反应器的CVD工艺具有包覆均匀等特点。